Effect of substrate temperature on crystal orientation and residual stress in radio frequency sputtered gallium-nitride films

Kazuya Kusaka*, Takao Hanabusa, Kikuo Tominaga, Noriyoshi Yamauchi

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フィンガープリント

「Effect of substrate temperature on crystal orientation and residual stress in radio frequency sputtered gallium-nitride films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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