Effects of energetic negative ions generated from sputtering targets on ScAlN film growth

Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa, Takahiko Yanagitani

研究成果: Conference contribution

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effects of energetic negative ions generated from sputtering targets on ScAlN film growth」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy