本文言語 | English |
---|---|
ページ(範囲) | 2512-2516 |
ページ数 | 5 |
ジャーナル | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures |
巻 | 21 |
号 | 6 |
DOI | |
出版ステータス | Published - 2003 |
外部発表 | はい |
ASJC Scopus subject areas
- 凝縮系物理学
- 電子工学および電気工学
本文言語 | English |
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ページ(範囲) | 2512-2516 |
ページ数 | 5 |
ジャーナル | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures |
巻 | 21 |
号 | 6 |
DOI | |
出版ステータス | Published - 2003 |
外部発表 | はい |