Effects of substrate heating and biasing on nanostructural evolution of nonepitaxially grown TiN nanofilms

T. Q. Li, S. Noda, F. Okada, H. Komiyama

研究成果: Article査読

15 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)2512-2516
ページ数5
ジャーナルJournal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
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出版ステータスPublished - 2003
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ASJC Scopus subject areas

  • 凝縮系物理学
  • 電子工学および電気工学

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