Electrochemical formation process of Si macropore and metal filling for high aspect ratio metal microstructure using single electrolyte system

Hirotaka Sato, Takayuki Homma, Kentaro Mori, Tetsuya Osaka, Shuichi Shoji

研究成果: Article査読

19 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Electrochemical formation process of Si macropore and metal filling for high aspect ratio metal microstructure using single electrolyte system」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

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