Electrodeposition of Si film from water-soluble KF-KCl molten salt and feasibility of SiCl4 as a Si source

Kouji Yasuda, Kazumi Saeki, Kazuma Maeda, Toshiyuki Nohira, Rika Hagiwara, Takayuki Homma

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Electrodeposition of Si film from water-soluble KF-KCl molten salt and feasibility of SiCl<sub>4</sub> as a Si source」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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