Electromechanical coupling coefficient k15 of (112̄0) textured ZnO films

Takahiko Yanagitani*, Natsuki Mishima, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

抄録

The ZnO film, whose crystallites c-axis align parallel to the substrate plane [(112̄0) textured ZnO films], has many potential advantages as shear-mode piezoelectric devices. In this study, shear mode electromechanical coupling coefficient k15 of (112̄0) textured polycrystalline ZnO films was estimated. An over-moded resonator consists of metal electrode film / (112̄0) textured ZnO piezoelectric film / metal electrode film / silica glass substrate was used to characterize k15 by a resonant spectrum method. For example, the (1120) textured ZnO piezoelectric films with good crystallite alignment show an electromechanical coupling coefficient k 15 of 0.24 which is 92% of the value of single-crystalline (k 15 = 0.26).

本文言語English
ホスト出版物のタイトル2005 IEEE Ultrasonics Symposium
ページ1824-1827
ページ数4
DOI
出版ステータスPublished - 2005 12月 1
外部発表はい
イベント2005 IEEE Ultrasonics Symposium - Rotterdam, Netherlands
継続期間: 2005 9月 182005 9月 21

出版物シリーズ

名前Proceedings - IEEE Ultrasonics Symposium
3
ISSN(印刷版)1051-0117

Other

Other2005 IEEE Ultrasonics Symposium
国/地域Netherlands
CityRotterdam
Period05/9/1805/9/21

ASJC Scopus subject areas

  • 音響学および超音波学

フィンガープリント

「Electromechanical coupling coefficient k15 of (112̄0) textured ZnO films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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