Evaluation of gas permeability for micro-scale thin polymer film with encapsulated MEMS damped oscillator

Ryunosuke Gando, Naofumi Nakamura, Yumi Hayashi, Daiki Ono, Kei Masunishi, Yasushi Tomizawa, Hiroaki Yamazaki, Tamio Ikehashi, Yoshiaki Sugizaki, Hideki Shibata

研究成果: Conference article査読

フィンガープリント

「Evaluation of gas permeability for micro-scale thin polymer film with encapsulated MEMS damped oscillator」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science