Evolution of threading edge dislocations at earlier stages of PVT growth for 4h-SiC single crystals

Komomo Tani*, Tatsuo Fujimoto, Kazuhito Kamei, Kazuhiko Kusunoki, Kazuaki Seki, Takayuki Yano

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Evolution of threading edge dislocations at earlier stages of PVT growth for 4h-SiC single crystals」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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