Extremely-High Vacuum System for the Pressure Measurement Using the Laser-Ionization Method

Kiyohide Kokubun, Hazime Shimizu, Shingo Ichimura, Humio Kawahara, Minoru Kondo

研究成果: Article査読

5 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)14-16
ページ数3
ジャーナルShinku/Journal of the Vacuum Society of Japan
34
1
DOI
出版ステータスPublished - 1991
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • 凝縮系物理学
  • 表面、皮膜および薄膜
  • 電子工学および電気工学

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