Fabrication and characterisation of suspended narrow silicon nanowire channels for low-power nano-electro-mechanical (NEM) switch applications

L. Boodhoo*, L. Crudgington, H. M.H. Chong, Y. Tsuchiya, Z. Moktadir, T. Hasegawa, H. Mizuta

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フィンガープリント

「Fabrication and characterisation of suspended narrow silicon nanowire channels for low-power nano-electro-mechanical (NEM) switch applications」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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