Fabrication and packaging of a resonant infrared sensor integrated in silicon

C. Cabuz*, S. Shoji, K. Fukatsu, E. Cabuz, K. Minami, M. Esashi

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フィンガープリント

「Fabrication and packaging of a resonant infrared sensor integrated in silicon」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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