Fabrication of 3D a-Si/SiO2 photonic crystals on 2D sub-micron-patterned InP substrates

Tetsuro Segawa*, Katsuyuki Utaka, Mitsuru Naganuma, Hisashi Sato, Shojiro Kawakami, Masayuki Izutsu, Masashi Nakao

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研究成果: Conference article査読

フィンガープリント

「Fabrication of 3D a-Si/SiO2 photonic crystals on 2D sub-micron-patterned InP substrates」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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