FABRICATION OF a-Si: H THIN FILMS BY A DOUBLE TUBED COAXIAL-LINE TYPE MICROWAVE PLASMA CVD SYSTEM.

Isamu Kato*, Motoyasu Yano, Yusuke Kohyama

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フィンガープリント

「FABRICATION OF a-Si: H THIN FILMS BY A DOUBLE TUBED COAXIAL-LINE TYPE MICROWAVE PLASMA CVD SYSTEM.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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