FABRICATION OF a-Si: H THIN FILMS BY A DOUBLE TUBED COAXIAL-LINE TYPE MICROWAVE PLASMA CVD SYSTEM.

Isamu Kato, Motoyasu Yano, Yusuke Kohyama

研究成果: Article査読

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「FABRICATION OF a-Si: H THIN FILMS BY A DOUBLE TUBED COAXIAL-LINE TYPE MICROWAVE PLASMA CVD SYSTEM.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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