Fabrication of a-Si: H thin films using a microwave discharge under a magnetic field of electron cyclotron resonance

Kiyotaka Kato*, Isamu Kato

*この研究の対応する著者

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Fabrication of a-Si: H thin films using a microwave discharge under a magnetic field of electron cyclotron resonance」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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