Fabrication of diamond in-plane-gated field effect transistors using oxygen plasma etching

Tokishige Banno*, Minoru Tachiki, Kazushi Nakazawa, Yu Sumikawa, Hitoshi Umezawa, Hiroshi Kawarada

*この研究の対応する著者

研究成果: Article査読

7 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Fabrication of diamond in-plane-gated field effect transistors using oxygen plasma etching」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds