Fabrication of heterostructure p-β-Fe0.95Mn0.05Si2/n-Si diodes by Fe+ and Mn+ co-implantation in Si(100) substrates

H. Katsumata*, Y. Makita, T. Takada, H. Tanoue, Naoto Kobayashi, M. Hasegawa, H. Kakemoto, T. Tsukamoto, S. Uekusa

*この研究の対応する著者

研究成果: Article査読

14 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Fabrication of heterostructure p-β-Fe0.95Mn0.05Si2/n-Si diodes by Fe+ and Mn+ co-implantation in Si(100) substrates」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds