Fabrication of low dislocation density GaN template by nano-channel FIELO communication using nanoimprint lithography

Akiko Okada, Shuichi Shoji, Hidetoshi Shinohara, Hiromi Nishihara, Hiroshi Goto, Haruo Sunakawa, Toshiharu Matsueda, Akira Usui, Atsushi A. Yamaguchi, Jun Mizuno

研究成果: Article

6 引用 (Scopus)

フィンガープリント Fabrication of low dislocation density GaN template by nano-channel FIELO communication using nanoimprint lithography' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。