FABRICATION OF SiN FILMS BY DOUBLE TUBED COAXIAL LINE TYPE MICROWAVE PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION.

Yukihiro Kiyota*, Kouji Numada, Isamu Kato

*この研究の対応する著者

研究成果: Chapter

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「FABRICATION OF SiN FILMS BY DOUBLE TUBED COAXIAL LINE TYPE MICROWAVE PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION.」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science