Fabrication of Sputtered Low-strain, Low-loss SiN Waveguide for Optical Phased Array Device

Masaki Nishimura, Hayato Takemura, Toshimasa Umezawa, Wittawat Yamwong, Tetsuya Kawanishi, Naokatsu Yamamoto, Nipapan Klunngien

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Fabrication of Sputtered Low-strain, Low-loss SiN Waveguide for Optical Phased Array Device」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds