Fabrication of sub-100 nm wires and dots in gaas/algaas multiquantum well using focused ion beam lithography

Hideki Kitada, Hiroshi Arimoto, Atsushi Tackeuchi, Yasuhiro Yamaguchi, Yoshiaki Nakata, Akira Endoh, Shunichi Muto

研究成果: Article

フィンガープリント Fabrication of sub-100 nm wires and dots in gaas/algaas multiquantum well using focused ion beam lithography' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

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Physics & Astronomy