Fabrication of sub-100 nm wires in GaAs/AlGaAs multiquantum well by focused ion beam lithography

H. Arimoto, H. Kitada, A. Tackeuchi, A. Endho, Y. Yamaguchi, S. Muto

研究成果: Paper査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Fabrication of sub-100 nm wires in GaAs/AlGaAs multiquantum well by focused ion beam lithography」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science