Fabrication of two-axis quartz MEMS-based capacitive tilt sensor

Jinxing Liang*, Takahiro Matsuo, Fusao Kohsaka, Xuefeng Li, Ken Kunitomo, Toshitsugu Ueda

*この研究の対応する著者

    研究成果: Article査読

    7 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Fabrication of two-axis quartz MEMS-based capacitive tilt sensor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science