Feasibility study of all-SiC pressure sensor fabrication without deep etching

Fengwen Mu, Yechao Sun, Haiping Shang, Yinghui Wang, Tadatomo Suga, Weibing Wang, Dapeng Chen

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Feasibility study of all-SiC pressure sensor fabrication without deep etching」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds