Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices

Shohei Tokuda, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa, Takahiko Yanagitani

    研究成果: Conference contribution

    1 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Physics & Astronomy