Fluxless bonding using vacuum ultraviolet and formic acid for 3D interconnects

Katsuyuki Sakuma*, Naoko Unami, Shuichi Shoji, Jun Mizuno

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Fluxless bonding using vacuum ultraviolet and formic acid for 3D interconnects」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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