GaN-Si direct wafer bonding at room temperature for thin GaN device transfer after epitaxial lift off

Fengwen Mu*, Yuki Morino, Kathleen Jerchel, Masahisa Fujino, Tadatomo Suga

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フィンガープリント

「GaN-Si direct wafer bonding at room temperature for thin GaN device transfer after epitaxial lift off」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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