Growth of TiO2-δ thin film by RF magnetron sputtering using oxygen radicals and Ti metal

Yuichi Shimazu, Teppei Okumura, Enju Sakai, Hiroshi Kumigashira, Mario Okawa, Tomohiko Saitoh, Tohru Higuchi

研究成果: Article査読

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フィンガープリント

「Growth of TiO2-δ thin film by RF magnetron sputtering using oxygen radicals and Ti metal」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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