Growth of trumpet-like protrusions during the CVD of silicon carbide films

Yuya Kajikawa*, Hideki Ono, Suguru Noda, Hiroshi Komiyama

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3 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)52-55
ページ数4
ジャーナルChemical Vapor Deposition
8
2
DOI
出版ステータスPublished - 2002 3月
外部発表はい

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  • 化学 (全般)
  • 表面および界面
  • プロセス化学およびプロセス工学

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