Heterogeneously Integrated Mach-Zehnder Modulator Using Membrane InGaAsP Phase Shifter and Hydrogen-Free SiN Waveguide on Si Platform

Tatsurou Hiraki, Takuma Aihara, Takuro Fujii, Koji Takeda, Tai Tsuchizawa, Takaaki Kakitsuka, Hiroshi Fukuda, Shinji Matsuo

研究成果: Conference contribution

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Heterogeneously Integrated Mach-Zehnder Modulator Using Membrane InGaAsP Phase Shifter and Hydrogen-Free SiN Waveguide on Si Platform」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science