High aspect ratio nano-scale CFX structures fabricated by deep-RIE

Takahiro Arakawa*, Hiroyuki Kusakawa, Shuichi Shoji

*この研究の対応する著者

研究成果

フィンガープリント

「High aspect ratio nano-scale CFX structures fabricated by deep-RIE」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds