High aspect ratio nanovolume glass cell array fabricated by area-selective silicon electrochemical etching process

Takayuki Homma*, Hirotaka Sato, Kentaro Mori, Tetsuya Osaka, Shuichi Shoji

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference article査読

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フィンガープリント

「High aspect ratio nanovolume glass cell array fabricated by area-selective silicon electrochemical etching process」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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