High-concentration ozone generator for oxidation of silicon operating at atmospheric pressure

Kunihiko Koike*, Tatsuo Fukuda, Shingo Ichimura, Akira Kurokawa

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フィンガープリント

「High-concentration ozone generator for oxidation of silicon operating at atmospheric pressure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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