High electromechanical coefficient kt2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz

Ko Hei Sano, Rei Karasawa, Takahiko Yanagitani

研究成果: Conference contribution

7 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「High electromechanical coefficient k<sub>t</sub><sup>2</sup>=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy