High sensitive tilt sensor for quartz micromachining

Fusao Kohsaka, Jinxing Liang, Takahiro Matsuo, Toshitsugu Ueda

    研究成果: Article査読

    9 被引用数 (Scopus)

    フィンガープリント

    「High sensitive tilt sensor for quartz micromachining」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    Engineering & Materials Science