Highly reliable and manufacturable in-line wafer-level hermetic packages for RF MEMS variable capacitor

Akihiro Kojima, Yoshiaki Shimooka, Yoshiaki Sugizaki, Mitsuyoshi Endo, Hiroaki Yamazaki, Etsuji Ogawa, Tamio Ikehashi, Tatsuya Ohguro, Susumu Obata, Takeshi Miyagi, Ikuo Mori, Yoshiaki Toyoshima, Hideki Shibata

研究成果: Conference contribution

5 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Highly reliable and manufacturable in-line wafer-level hermetic packages for RF MEMS variable capacitor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science