Identification and roles of nonstoichiometric oxygen in amorphous Ta 2 O 5 thin films deposited by electron beam and sputtering processes

Cedric Mannequin*, Tohru Tsuruoka, Tsuyoshi Hasegawa, Masakazu Aono

*この研究の対応する著者

研究成果: Article査読

15 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Identification and roles of nonstoichiometric oxygen in amorphous Ta <sub>2</sub> O <sub>5</sub> thin films deposited by electron beam and sputtering processes」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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