Impact of a few dopant positions controlled by single-ion implantation on transconductance of FETs

Masahiro Hori*, Yukinori Ono, Akira Komatsubara, Kuninori Kumagai, Takashi Tanii, Tetsuo Endoh, Iwao Ohdomari, Takahiro Shinada

*この研究の対応する著者

研究成果

フィンガープリント

「Impact of a few dopant positions controlled by single-ion implantation on transconductance of FETs」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science