Impact of structural strained layer near SiO2/Si interface on activation energy of time-dependent dielectric breakdown

Yoshinao Harada*, Koji Eriguchi, Masaaki Niwa, Takanobu Watanabe, Iwao Ohdomari

*この研究の対応する著者

研究成果: Article査読

15 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Impact of structural strained layer near SiO<sub>2</sub>/Si interface on activation energy of time-dependent dielectric breakdown」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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