Improvement in the ion-detection sensitivity of the pressure measurement method using nonresonant laser ionization

K. Kokubun*, S. Ichimura, M. Hirata, S. Sekine, A. Kurokawa

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研究成果: Article査読

抄録

In order to increase the ion-detection efficiency of pressure measurement using nonresonant laser ionization method, a Channeltron of aperture 19 mm was used in the ion-detection head and pressure measurement was carried out with H2. The detection efficiency was increased about 1.5 times compared to a previous result. The volume of the ionization region estimated from the present measurement, 5.8 × 10-4 mm3, is close to that derived from the direct observation of the ion distribution in the ionization region, 6.4 × 10-4 mm3.

本文言語English
ページ(範囲)727-729
ページ数3
ジャーナルVacuum
48
7-9
DOI
出版ステータスPublished - 1997 9月
外部発表はい

ASJC Scopus subject areas

  • 器械工学
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フィンガープリント

「Improvement in the ion-detection sensitivity of the pressure measurement method using nonresonant laser ionization」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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