In situ measurement for diffusion-adsorption process of Cl and SPS in through-silicon via using SERS effect produced by Cu nanodot arrays

Masahiro Kunimoto, Futa Yamaguchi, Masahiro Yanagisawa, Takayuki Homma

研究成果: Article査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「In situ measurement for diffusion-adsorption process of Cl<sup>−</sup> and SPS in through-silicon via using SERS effect produced by Cu nanodot arrays」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds