InP 2D nano-structures fabricated by two-time laser holography

T. Ohira*, T. Segawa, K. Nagai, S. Takahashi, K. Utaka, M. Nakao

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研究成果: Paper査読

抄録

We have fabricated two-dimensional nano-structures on (100)-InP substrates using two-time laser holography and subsequent wet and/or dry etching. Triangular and square lattice patterns with a period of 500 nm have been successfully fabricated over a large area of the substrates. We have also measured the reflectivity of the samples.

本文言語English
ページ268-271
ページ数4
出版ステータスPublished - 2001 1月 1
イベント2001 International Conference on Indium Phosphide and Related Materials - Nara, Japan
継続期間: 2001 5月 142001 5月 18

Conference

Conference2001 International Conference on Indium Phosphide and Related Materials
国/地域Japan
CityNara
Period01/5/1401/5/18

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「InP 2D nano-structures fabricated by two-time laser holography」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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