LARGE AREA EXPOSURE IN SYNCHROTRON RADIATION LITHOGRAPHY UTILIZING THE STEERING OF THE ELECTRON ORBIT IN THE STORAGE RING.

Hiroshi Tanino*, Koichiro Hoh, Masahiro Hirata, Shirigo Ichimura, Nobufumi Atoda, Takio Tomimiasu, Tsutomu Noguchi, Suguru Sugiyama, Tetsuo Yamazaki

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

本文言語English
ホスト出版物のタイトルConference on Solid State Devices and Materials
出版社Business Cent for Academic Soc Japan
ページ30-31
ページ数2
ISBN(印刷版)4930813042
出版ステータスPublished - 1983
外部発表はい

出版物シリーズ

名前Conference on Solid State Devices and Materials

ASJC Scopus subject areas

  • 工学(全般)

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