Lithium niobate membrane on silicon platform for waveguide sensor

Eiki Mochizuki*, Yusuke Muranaka, Sunao Kurimura, Kiyofumi Kikuchi, Akihiro Terasaki, Hirochika Nakajima

*この研究の対応する著者

    研究成果: Conference contribution

    抄録

    Cladless nonlinear optical waveguide is fascinating for high-sensitivity light-fluid interaction. Membrane composed of 4μm-thick Mg:LN is fabricated by an etching process on a silicon platform. Novel fabrication process will be introduced for various sensing applications.

    本文言語English
    ホスト出版物のタイトルConference Program - MOC'11: 17th Microoptics Conference
    出版ステータスPublished - 2011
    イベント17th Microoptics Conference, MOC'11 - Sendai
    継続期間: 2011 10 302011 11 2

    Other

    Other17th Microoptics Conference, MOC'11
    CitySendai
    Period11/10/3011/11/2

    ASJC Scopus subject areas

    • 電子材料、光学材料、および磁性材料
    • 原子分子物理学および光学

    フィンガープリント

    「Lithium niobate membrane on silicon platform for waveguide sensor」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

    引用スタイル