Low temperature copper-copper quasi-direct bonding with ultrathin platinum intermediate layer using atomic layer deposition

Kosuke Yamada*, Hiroyuki Kuwae, Takumi Kamibayashi, Wataru Momose, Shuichi Shoji, Jun Mizuno

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

1 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Low temperature copper-copper quasi-direct bonding with ultrathin platinum intermediate layer using atomic layer deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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