Low temperature diamond film fabrication using magneto-active plasma CVD

M. Yuasa*, O. Arakaki, J. S. Ma, A. Hiraki, H. Kawarada

*この研究の対応する著者

研究成果: Article査読

32 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Low temperature diamond film fabrication using magneto-active plasma CVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds