Low temperature direct bonding of single crystal quartz substrates for high performance optical low pass filter using amorphous SiO2 intermediate layers

Bo Ma, Hiroyuki Kuwae, Akiko Okada, Weixin Fu, Shuichi Shoji, Jun Mizuno

研究成果: Conference contribution

3 引用 (Scopus)

フィンガープリント Low temperature direct bonding of single crystal quartz substrates for high performance optical low pass filter using amorphous SiO2 intermediate layers' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

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