Low-temperature fabrication of high-coercivity L10 ordered FePt magnetic thin films by sputtering

Y. K. Takahashi*, M. Ohnuma, K. Hono

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抄録

We report that fully ordered L10 FePt magnetic thin films with high coercivity can be fabricated by a simple sputtering method at a substrate temperature of 300°C. Although fcc → L10 ordering proceeds only above 600°C in ex situ annealing of disordered FePt films, the ordering occurs spontaneously by surface diffusion during the sputtering process of FePt alloy upon heating the substrate at 300°C. High coercivity larger than 7 kOe was achieved from the as-sputtered state.

本文言語English
ページ(範囲)L1367-L1369
ジャーナルJapanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters
40
12 B
DOI
出版ステータスPublished - 2001 12 15
外部発表はい

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「Low-temperature fabrication of high-coercivity L1<sub>0</sub> ordered FePt magnetic thin films by sputtering」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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