Low temperature grown carbon nanotube interconnects using inner shells by chemical mechanical polishing

Daisuke Yokoyama, Takayuki Iwasaki, Tsuyoshi Yoshida, Hiroshi Kawarada, Shintaro Sato, Takashi Hyakushima, Mizuhisa Nihei, Yuji Awano

研究成果: Article

102 引用 (Scopus)

フィンガープリント Low temperature grown carbon nanotube interconnects using inner shells by chemical mechanical polishing' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy