Membrane sieve using stoichiometric and stress-reduced SiN/SiO/SiN multilayer films and applications to plasma separation

Dae Sik Lee*, Yo Han Choi, Mun Yeon Jun, Yong Duk Han, Hyun C. Yoon, Shuichi Shoji

*この研究の対応する著者

研究成果: Conference contribution

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Membrane sieve using stoichiometric and stress-reduced SiN/SiO/SiN multilayer films and applications to plasma separation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science