Micro chamber for cellar analysis integrated with negligible dead volume sample injector

Masaki Kanai*, Hirohsia Abe, Tatsuya Munaka, Y. Yoichi Fujiyama, Daisuke Uchida, Asako Yamayoshi, Hiroaki Nakanishi, Akira Murakami, Shuichi Shoji

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抄録

A micro chamber integrated with an extremely low dead volume sample injector for real-time monitoring of living cell was developed. By means of the combination of isotropic etching and deep trench etching using CCP-RIE and ICP-RIE, the sample injector with negligible dead volume of less than 0.05nl is realized. Using fabricated devices, the reproducible sample injection of the order of 1nl was obtained. Biological cell culture of rat mast cell was also performed in the fabricated micro chamber.

本文言語English
ページ(範囲)129-134
ページ数6
ジャーナルSensors and Actuators, A: Physical
114
2-3
DOI
出版ステータスPublished - 2004 9 1
イベントSelected Papers from Transducers 03 - Boston, MA, United States
継続期間: 2003 6 82003 6 12

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 器械工学
  • 凝縮系物理学
  • 表面、皮膜および薄膜
  • 金属および合金
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Micro chamber for cellar analysis integrated with negligible dead volume sample injector」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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